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ダイシング

ダイシング加工

材質 ワークサイズ 加工サイズ 厚さ
シリコン

・ウエハーサイズ
2~8インチφ
(50~200㎜φ)
・板材/角基板
~□160㎜

0.5㎜~ ~3.0㎜
ガラス 0.5㎜~ ~5.0㎜
セラミック 1.0㎜~ ~2.0㎜
シリコン+モールド(積層材) 1.0㎜~ ~2.0㎜
SiC(シリコンカーバイト) 1.0㎜~ ~2.0㎜

ダイシング

・ガラスダイシング
IR/UV カットフィルターに代表される様な光学ガラス基板や 石英基板のダイシング、
溝入れ加工等を 試作品及び少量~量産までニーズに応じて承ります。

・セラミックダイシング
アルミナ基板のダイシング、溝入れ加工等を 試作品及び少量~量産までニーズに応じて承ります。

・厚物/異素材積層ウエハーダイシング
カメラモジュールなどの異素材積層ウエハーを ダイシング可能とする為に
高出力スピンドルダイサーを 保有しております。

・結晶ダイシング
KBr等の潮解性結晶を変質させずに切断加工する独自技術を 開発。
加工したチップには防湿コートを施し、耐潮解性を 可能といたします。
(※一部現在開発中技術となります。)

ガラスダイシング

ガラスダイシング加工

ガラスダイシング加工

IRカットフィルター等の光学薄膜付きガラスや石英、水晶等の硬質材のダイシング加工をいたします。

面取加工、V溝入れ等の特殊加工や基板厚5.0㎜までの石英ダイシングも可能です。

  • 面取り加工

    面取り加工

  • 溝入れ加工

    溝入れ加工

セラミックダイシング

アルミナ等の素材のダイシング

セラミックダイシング加工

セラミックダイシング

セラミック、ガラス等の基板上にパタンニングされたJ素子や板材等を、 ダイシング加工でチップ化致します。

セラミック、ガラス等にパタンニングした素子の抵抗値測定のテストも 可能ですので、
基板状態で測定の上、良否選別致します。
テスト→不良マーキング→ダイシング→検査→テーピングを弊社で 一貫で加工することが可能です。

潮解性結晶ダイシング

潮解性結晶を変質させずにダイシング加工することが可能です。

潮解性結晶ダイシング加工

潮解性結晶ダイシング

■当社ではKBr等の潮解性結晶を特殊なダイシング方法により白濁等の変質を させずに
窓材やチップ形状へ加工する技術を実用化致しました。
(2011年 東京都基盤技術産業グループ支援事業認定)

■ダイシング加工したチップに防湿コートを施すことにより耐久性が必要な用途に ご活用いただけます。

また、クリーンルーム内でダイシング~トレイ詰め~検査を一貫できるラインを 有していますので、
Class100レベルの雰囲気内の状態で製品をご提供できます。

SiCのダイシング加工

SiCダイシング加工

弊社はSiC(炭化ケイ素)ウエハをブレードにてダイシング加工するサービスを始めました。

ダイシング加工例

加工品質

チッピング:<20μm (Si面、C面)

加工可能サイズ

ウエハサイズ   :2~6インチφ

ウエハ厚       :~2.0mm

加工チップサイズ  :1.0mm~

加工環境

クリーンルーム:設計値:Class10,000(実力:<1,000)

切削水 :比抵抗18MΩの純水をCO2バブラーにて0.7MΩに落として管理、使用

※テスト加工を承ります。お気軽にご相談ください。