材質 | ワークサイズ | 加工サイズ | 厚さ |
---|---|---|---|
シリコン | ・ウエハーサイズ |
0.5㎜~ | ~3.0㎜ |
ガラス | 0.5㎜~ | ~5.0㎜ | |
セラミック | 1.0㎜~ | ~2.0㎜ | |
シリコン+モールド(積層材) | 1.0㎜~ | ~2.0㎜ | |
SiC(シリコンカーバイト) | 1.0㎜~ | ~2.0㎜ |
ダイシング
・ガラスダイシング
IR/UV カットフィルターに代表される様な光学ガラス基板や
石英基板のダイシング、
溝入れ加工等を
試作品及び少量~量産までニーズに応じて承ります。
・セラミックダイシング
アルミナ基板のダイシング、溝入れ加工等を
試作品及び少量~量産までニーズに応じて承ります。
・厚物/異素材積層ウエハーダイシング
カメラモジュールなどの異素材積層ウエハーを
ダイシング可能とする為に
高出力スピンドルダイサーを
保有しております。
・結晶ダイシング
KBr等の潮解性結晶を変質させずに切断加工する独自技術を
開発。
加工したチップには防湿コートを施し、耐潮解性を
可能といたします。
(※一部現在開発中技術となります。)
ガラスダイシング加工
IRカットフィルター等の光学薄膜付きガラスや石英、水晶等の硬質材のダイシング加工をいたします。
面取加工、V溝入れ等の特殊加工や基板厚5.0㎜までの石英ダイシングも可能です。
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面取り加工
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溝入れ加工
アルミナ等の素材のダイシング
セラミックダイシング
セラミック、ガラス等の基板上にパタンニングされたJ素子や板材等を、 ダイシング加工でチップ化致します。
セラミック、ガラス等にパタンニングした素子の抵抗値測定のテストも
可能ですので、
基板状態で測定の上、良否選別致します。
テスト→不良マーキング→ダイシング→検査→テーピングを弊社で
一貫で加工することが可能です。
潮解性結晶を変質させずにダイシング加工することが可能です。
潮解性結晶ダイシング
■当社ではKBr等の潮解性結晶を特殊なダイシング方法により白濁等の変質を
させずに
窓材やチップ形状へ加工する技術を実用化致しました。
(2011年 東京都基盤技術産業グループ支援事業認定)
■ダイシング加工したチップに防湿コートを施すことにより耐久性が必要な用途に
ご活用いただけます。
また、クリーンルーム内でダイシング~トレイ詰め~検査を一貫できるラインを
有していますので、
Class100レベルの雰囲気内の状態で製品をご提供できます。
SiCダイシング加工
弊社はSiC(炭化ケイ素)ウエハをブレードにてダイシング加工するサービスを始めました。
加工品質チッピング:<20μm (Si面、C面)
加工可能サイズウエハサイズ :2~6インチφ
ウエハ厚 :~2.0mm
加工チップサイズ :1.0mm~
加工環境クリーンルーム:設計値:Class10,000(実力:<1,000)
切削水 :比抵抗18MΩの純水をCO2バブラーにて0.7MΩに落として管理、使用
※テスト加工を承ります。お気軽にご相談ください。