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純水ヤード

部品洗浄

純水設備を活用してのサービス

ウエハ洗浄・光学部品・収納容器など 洗浄から外観選別、真空包装まで 一貫したサービスの提供が可能です。

スペック

  • 純度実力=16~18MΩ
  • 管理値=15MΩを下限として管理
  • 静電破壊がご心配の場合、USE POINT はCO2バブラーにより低比抵抗水の供給が可能です。

部品洗浄一例

  • 純水超音波洗浄

    洗浄中の製品のくっつきを
    防止を目的にUS+バブル洗浄

  • 純水洗浄

    純水バブル洗浄

  • 水切り

    遠心力を利用した水切り